低能耗電子槍EGA-1012 EGPS-1012產(chǎn)品規(guī)格

電子槍的工作原理 ：

利用高速電子束與材料相互作用，將電子的能量轉(zhuǎn)化為材料的熱能，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的加熱、熔化或蒸發(fā)

電子槍的工作原理是利用高速電子束與材料相互作用，將電子的能量轉(zhuǎn)化為材料的熱能，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的加熱、熔化或蒸發(fā)。電子槍通過(guò)熱陰極的熱發(fā)射和電場(chǎng)的控制，發(fā)射出一個(gè)致密而集中的電子束，用于電子顯微鏡、電視顯像系統(tǒng)等應(yīng)用。

起始價(jià)格 基本系統(tǒng) – 不包括選項(xiàng)：27,600 美元

中等直徑光斑尺寸的大電流

描述

大電流、中等直徑、低能量電子束

5 eV 至 1000 eV

應(yīng)用：

表面物理研究

真空物理實(shí)驗(yàn)

電荷中和

電子解吸

表面清理

熒光粉測(cè)試

電離實(shí)驗(yàn)

半導(dǎo)體加工

功能/選項(xiàng)：

光束電流高達(dá) 2mA

Feedback Stabilized Emission Current

用戶(hù)可更換的點(diǎn)火裝置

UHV 兼容 / 可烘烤

電腦 / 遙控器

光束脈沖選項(xiàng)

能量范圍：5 eV 至 1k eV

光束電流：1 μA 至 2 mA

光斑尺寸：10 mm 至 25 mm（無(wú)聚焦能力）

安裝：2.75“ CF

特點(diǎn)/選項(xiàng)：泛光光束、脈沖、雙網(wǎng)格

Kimball Physics EGA-1012 電子槍及其配套的 EGPS-1012 電源，旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實(shí)驗(yàn)、表面物理和需要低能量高束流的加工應(yīng)用。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接和打開(kāi)。光束能量、光束電流和光束發(fā)散度都是可獨(dú)立調(diào)節(jié)的。EGA-1012 電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來(lái)產(chǎn)生均勻的泛光光束。這種設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。

全程采用 UHV 技術(shù)。電子槍可在高達(dá) 350°C 的溫度下烘烤，無(wú)需電纜。使用法拉第杯時(shí)，最大值為 65oC 除非被刪除。

標(biāo)準(zhǔn)陰極是一個(gè)大電流、堅(jiān)固的釔涂層圓盤(pán) （Y2O3).陰極在寒冷時(shí)不會(huì)因反復(fù)暴露在大氣氣體或水蒸氣中而損壞。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行-11torr 到 10-5托。陰極壽命是真空條件和束流與陰極溫度相關(guān)的函數(shù)。在良好真空下，低電流下的陰極壽命可能長(zhǎng)達(dá)數(shù)百小時(shí)，甚至超過(guò)一千小時(shí)。