Osakavacuum渦輪分子泵TGkine3300M-B / 3400M-B資料

更新時間：2024-05-08

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用途

半導(dǎo)體制造設(shè)備

FPD制造設(shè)備

太陽能電池制造設(shè)備

玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工

薄膜加工

加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備

OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列使用磁懸浮軸承實現(xiàn)無油的排氣，而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。

TG-M系列產(chǎn)品型號：

TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M、TGkine3800M/TGkine4200M、耐反應(yīng)生成物磁懸浮復(fù)合分子泵　TGkine-MI系列。

磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列產(chǎn)品特點：

■將電源控制器與分子泵一體化

■省電設(shè)計

■輕巧設(shè)計

■對應(yīng)防護(hù)等級IP54

■多種通信接口

■對應(yīng)國際規(guī)格

CE/NRTL/SEMI-S2

使用場合：

?半導(dǎo)體制造設(shè)備

?FPD制造設(shè)備

?太陽能電池制造設(shè)備

?玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工

?薄膜加工

?加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備

技術(shù)參數(shù)：

型號		TGkine3300M	TGkine3300M-40	TGkine3400M
吸氣口法蘭		VG300 ISO-B320	VG300 ISO-B320	VG350
排氣口法蘭		KF40/KF50
排氣速度	N2(L/s)	3300
	N2(附帶金屬防護(hù)網(wǎng)) (L/s)	3100
	H2(L/s)	2700
最大壓縮比	N2	>1×108
	H2	3×103
極限壓力	VG?ISO-B(Pa)	<2×10-7
	VG?ISO-B(Torr)	<7.5×10-9
最大氣體流量	N2 (sccm)	2100	4000	2100
啟動時間	(min)	≦11
停止時間	(min)	≦13
允許輔助壓力	(Pa/Torr)	170/1.28※1
推薦輔助泵	(L/min)	≧2000
輸入電壓	(V)	AC200-240V -15%+10%
相數(shù)		單相
頻率	(Hz)	50/60
電流	(A)	Max. 5.3
所需電力	(kVA)	Max. 0.9
通信接口（規(guī)格可選）		Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet
防護(hù)等級		IP54
安裝角度		任意
重量	VG?ISO-B（kg）	69
控制器型號		控制器與分子泵一體型

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